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合金靶材：鎳銅合金靶， 鉻鋁合金靶，金鈀合金，金錫合金，金鍺鎳合金，鋁釩合金靶，鋁鉻釔合金靶，鋁硅合金靶，鋁硅銅合金靶，鋁鐵合金靶，鎂鉻合金靶，鉬鎳合金靶，鎳鉑合金靶，鎳釩合金靶，鎳鉻合金靶，鎳鉻鋁釔合金靶，鎳硅合金靶，鎳碳合金靶，鎳鐵合金靶，坡莫合金靶，鈦硅合金靶，鈦鋁硅合金靶，鈦硅碳合金靶，鈦鋁合金靶，鈦鎳合金靶，鈦鎢合金靶，鐵碲合金靶，鐵鉻鈷合金靶，鐵鈷合金靶，鐵鎳合金靶，鐵鈷鎳合金，鐵鈷釩合金，鐵鈷硼合金，鉑銠合金靶，銅鎵合金，鈷鎳鉻鋁釔合金，銅鉍合金靶，銅鋅合金，銅錫合金靶，銅硒合金靶，銅銀合金靶，鎢鈦合金靶，不銹鋼靶、鉬鈮靶、鋁釹靶、鋯鋁靶、鉻鎢靶、鉻釩靶、鈦鋁靶、銅鎵靶、銅銦鎵靶、銅銦鎵硒，鋅鋁靶等合金靶材。

真空鍍膜機增透膜增加透射光強度的實質是作為電磁波的光波在傳播的過程中，在不同介質的分界面上，由于邊界條件的不同，改變了其能量的分布。對于單層薄膜來說，當增透膜兩邊介質不同時，薄膜厚度為1/4波長的奇數倍且薄膜的折射率n=（n1*n2)^(1/2)時（分別是介質2的折射率），才可以使入射光全部透過介質。一般光學透鏡都是在空氣中使用，對于一般折射率在1.5左右的光學玻璃，為使單層膜達到100%的增透效果，可使n1=1.23，或接近1.23；還要使增透薄膜的厚度=（2k 1)倍四分之一個波長。

單層膜只對某一特定波長的電磁波增透，為使在更大范圍內和更多波長實現增透，人們利用鍍多層膜來實現。人們對增透膜的利用有了很多的經驗。發現了不少可以作為增透膜的材料，比如氧化鈮；同時也掌握了不少先進的鍍膜技術，因此增透膜的應用涉及醫學、太空探索等各行各業。

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