目前國內氧化物薄膜材料的制備方法和技術有很多，其中主要的方法有脈沖激光沉積、磁控濺射、電子束蒸發、分子束外延等物理方法，以及化學氣相沉積、溶膠-凝膠、噴霧熱解等化學方法。除了以上所述成型方法外，人們還研究了沖擊成型法和爆開成型法等，目前這些新型成型方法尚在研究階段，要實現產業化還有很多研究工作需要進一步細化。在這些制備技術中噴涂法是目前應用較多的技術，其制備的產品品質高，穩定性好，磁控濺射鍍膜技術具有易于大面積鍍膜、工業化生產以及薄膜品質、成分、結構、均勻性等易于調控的優勢，是產業化制備氧化物薄膜材料的重要方法之一，以該方法制備的氧化物薄膜材料在液晶面板、觸摸屏、薄膜太陽能電池、發光二極管等產業上獲得了廣泛應用。

目前，氧化物薄膜材料的主要成型方法主要有：熱等靜壓法是將粉末或預先壓成的素坯裝入包套后，再將套內抽真空焊接密封，放入高壓容器內，使粉末在高溫及等方壓力下燒結，成型和燒結同時進行 。在ITO靶材的發展中，早期采用的熱等靜壓技術難以獲得高密度、大尺寸的材料。隨著常壓燒結方法的出現，熱等靜壓法制備的靶材尺寸偏小、密度偏低、失氧率高且該方法設備偏貴、成本偏高的缺點，使熱等靜壓法在ITO陶瓷靶材的制備上不再具備競爭優勢，后續的研究和產業化逐漸被產業界淡化，但還是比較適合需要缺氧的陶瓷靶材 。

冷等靜壓法是將預先成型的素坯放入橡膠包套內浸于高壓液體下使之承受各向同性的壓力，實現素坯密度的強化。冷等靜壓只是獲得密度盡可能高的素坯，使素坯的燒結致密化更為容易。由于冷等靜壓不具有熱等靜壓的燒結能力，需要單獨的燒結工藝對素坯進行燒制。冷等靜壓能生產大尺寸的靶材，是目前多數企業優先選擇的成型方法。國內外的成型研究表明，冷等靜壓法可以制備出滿足陶瓷靶材所需的高品質素坯。但冷等靜壓成型超大尺寸的素坯時，由于受到腔室尺寸的限制，會導致設備投資非常昂貴，而且在素坯較薄、尺寸較大時存在變形問題。同時，壓制不同尺寸的素坯時，需要制備不同規格的預壓模具，模具成本較高。

噴涂法是目前應用較多的技術，其制備的產品品質高，穩定性好。噴涂法是利用高壓氣體（N2、H2 、混合氣體或空氣）攜帶粉末顆粒經縮放管產生超音速雙相流，在完全固態下撞擊基體，通過較大的塑性流動變形沉積于綁定背板表面而形成涂層，涂層逐層增厚，獲得陶瓷靶材。由基本的噴涂法又衍生出等離子體噴涂、電弧噴涂、超音速火焰噴涂、冷噴涂等噴涂成型技術。使用氧化鈮粉體和少量金屬Nb，用等離子體噴涂實現了工業化制備旋轉氧化鈮靶材。近年來，用噴涂成型工藝在高等的ITO、AZO、IGZO靶材成型上有了較大的打破，廣州、深圳等地的大型的靶材制造商已成功制備出高性能的靶材。濕法成型是通過將氧化物粉體制備成漿料，然后通過自我凝固、吸水或者壓濾等方式實現特定外形的素坯，干燥后獲得高密度的素坯。濕法成型不僅可以實現冷等靜壓成型的功能，而且還能彌補冷等靜壓成型的不足。陶瓷靶材的濕法成型有注漿成型、膠態成型、直接凝固成型等。

廣州市尤特新材料有限公司（以下簡稱“尤特”），成立于2003年，位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬平方米。尤特是一家專注于時尚消費電子產業、節能綠色環保產業、新材料新技術開發和應用的重要高新技術企業。尤特以生產信息存儲記錄材料為起點，經過10多年的開拓與發展，產業技術不斷迭代與升級，尤特的技術及應用涉獵范圍逐步擴大，其中主要包括：真空鍍膜靶材；環保（UV/水性）材料；觸控顯示材料；印刷技術及材料；信息存儲材料、導電散熱材料等。尤特一直倡導“新材料、促環保、美生活”企業使命。尤特遵循科學體系管理，先后通過《質量管理體系》、《環境管理體系》、《職業健康與安全管理體系》認證并有效運行，產品符合全部環境及安全標準；獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認證等。尤特重視產品研發及技術創新，先后與"武漢大學"、"華南理工大學"、"中南大學"等高校、研究所建立"產學研"合作機制，并承擔多項省市立項的科研項目，公司目前已擁有幾十項自主研發新興材料及工藝的知識產權，是廣州市扶持科技型要點培育上市企業。尤特先后獲得相關機構的授予多個榮譽：如“國家生產力促進獎、國家有名商標、廣東省守合同重信用企業、廣東省雇主責任示范企業、廣州市安全生產標準化達標企業、廣州市工程技術研發中心、廣州科技小巨人企業、地方納稅企業”等榮譽。尤特全體同仁秉承“創造價值，分享價值“的核心價值觀，借鑒以往成功管理運營經驗，持續深挖磁控濺射鍍膜材料下游應用市場，不斷拓寬市場應用領域，做優做強鍍膜材料產業,將公司打造為--磁控濺射靶材行業者。

主營產品：濺射靶材,鍍膜靶材,金屬靶材,旋轉靶材,平面靶材,噴涂靶材,靶材,UV玻璃油墨 公司成立年份：2003
公司網址：http://UVTMCOM.glass.com.cn

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