真空鍍膜機是目前制作真空條件應用較為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成，排氣系統采用“擴散泵 機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold;組成。真空主體;真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用較多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。抽氣系統：排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。

在半導體濺射靶材方面，國內與國際差距主要在濺射靶材上游材料（非常高純原材料方面）與服務于集成電路先進制程的新產品。濺射鍍膜技術起源于國外，所需要的濺射材料——靶材也起源發展于國外。國外靶材公司，在靶材研發生產方面已有幾十年的積淀。同時，隨著半導體工業技術創新的不斷深化，以美國、日本和德國為代表的半導體廠商加強對上游原材料的創新力度，從而更大限度地保證半導體產品的技術先進性。

當前中國靶材制造商在部分靶材制造工藝上已達到了國際先進水平。產品質量獲得國內外下游廠商的認可；同時通過在下游企業工廠附近建廠。靶材價格可能會比國外廠商低10%-15%，替代必要性和戰略意義明顯。日韓和在大部分國家半導體產業鏈中有重要地位。元器件及材料的生產對于貨品靶材面板顯示產業的基礎環節，所使用的PVD鍍膜材料主要為濺射靶材，其性能如分辨率、透光率等都與濺射薄膜的性能密切相關。

目前，國內靶材廠商主要聚焦在低端產品領域，在半導體、平板顯示器和太陽能電池等市場還無法與國際巨頭一體競爭，但依靠國內的巨大市場潛力和利好的產業政策，以及產品價格優勢，它們已經在國內市場占有一定的市場份額，并逐步在個別細分領域搶占了部分國際大廠的市場空間。面板靶材：主要用于制作ITO玻璃及觸控屏電極平板。顯示行業主要在顯示面板和觸控屏面板兩個產品生產環節需要使用靶材濺射鍍膜。用于高清電視、筆記本電腦等。平板顯示靶材技術要求也很高受益下游需求逐步向國內轉移，我國的靶材****企業正在乘勢而上，在各自的細分領域進行技術打破和產能提升。在超大規模集成電路用高純金屬靶材領域，國內的靶材公司成功打破美國、日本跨國公司的壟斷格局。

從IGZO和AMOLED兩種面板的制造性和成本上看，現在大部分國家主要的顯示器生產線還是LCD工廠，IGZO只是制作工藝上的改變，投入新機的成本較少。但AMOLED等蒸鍍設備需要另外購入生產線。且未來能否對應7代線以上大型玻璃基板還是未知數，這么一來，整體的生產成本還是IGZO較有優勢。另外，IGZO面板的TFT元件和線路都在縮小，在相同面積下，原本只能裝入一顆subpixel的區域，現在可以裝入四個，而被遮光的面積卻沒有跟著變大，實現了“同等透過率2倍高精細化”，即可在很小的單位面積上實現很高的物理分辨率，而不需要增加背光的強度，這對于即將進入的4K時代更具意義，IGZO面板能夠達到500ppi，而AMOLED現階段無法做到300ppi。

是制備薄膜材料的主要技術，也是PVD的一種。它通過在PVD設備中用離子對目標物進行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料。稱為濺射靶材。氮化物是在電子和光電子應用方面有較大潛力的新型半導體材料,它在室溫下具有高電子遷移率和良好導電性的優勢。是目前大部分國家半導體研究的****和熱點，是研制微電子器件、光電子器件的新型半導體材料。它具有寬的直接帶隙、強的原子鍵、高的熱導率、化學穩定性好(幾乎不被任何酸腐蝕)等性質和強的抗輻照能力。顯示行業主要在顯示面板和觸控屏面板兩個產品生產環節需要使用靶材濺射鍍膜。用于高清電視、筆記本電腦等。

廣州市尤特新材料有限公司（以下簡稱“尤特”），成立于2003年，位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬平方米。尤特是一家專注于時尚消費電子產業、節能綠色環保產業、新材料新技術開發和應用的重要高新技術企業。尤特以生產信息存儲記錄材料為起點，經過10多年的開拓與發展，產業技術不斷迭代與升級，尤特的技術及應用涉獵范圍逐步擴大，其中主要包括：真空鍍膜靶材；環保（UV/水性）材料；觸控顯示材料；印刷技術及材料；信息存儲材料、導電散熱材料等。尤特一直倡導“新材料、促環保、美生活”企業使命。尤特遵循科學體系管理，先后通過《質量管理體系》、《環境管理體系》、《職業健康與安全管理體系》認證并有效運行，產品符合全部環境及安全標準；獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認證等。尤特重視產品研發及技術創新，先后與"武漢大學"、"華南理工大學"、"中南大學"等高校、研究所建立"產學研"合作機制，并承擔多項省市立項的科研項目，公司目前已擁有幾十項自主研發新興材料及工藝的知識產權，是廣州市扶持科技型要點培育上市企業。尤特先后獲得相關機構的授予多個榮譽：如“國家生產力促進獎、國家有名商標、廣東省守合同重信用企業、廣東省雇主責任示范企業、廣州市安全生產標準化達標企業、廣州市工程技術研發中心、廣州科技小巨人企業、地方納稅企業”等榮譽。尤特全體同仁秉承“創造價值，分享價值“的核心價值觀，借鑒以往成功管理運營經驗，持續深挖磁控濺射鍍膜材料下游應用市場，不斷拓寬市場應用領域，做優做強鍍膜材料產業,將公司打造為--磁控濺射靶材行業者。

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