直流磁控濺射電源

SS-II系列磁控濺射電源工作于高頻變換模式，直流輸出,電源電流調整通過改變高頻變換的脈沖寬度來實現。電源具有良好的負載特性，性價比高，適用于金屬及部分反應膜層環境使用。 電源功率范圍 10-120KW 輸入電源 AC380V三相四線制 50-60HZ±10％ 輸出方式 直流 輸出電壓 空載800V 滅弧時間 ≤20uS

2024-04-29 0

疊加偏壓電源

BOMB VS 系列偏壓電源工作于高頻二級變換模式，有單極脈沖、直流疊加脈沖、低壓直 流三種輸出方式，主電源電壓、副電源電壓、脈沖寬度獨立調整。靈活的輸出方式適用于工 具膜、裝飾膜以及工藝開發等多種應用環境，特別是直流疊加脈沖的方式，在控制工件溫 度的同時，本底直流電壓有效維持了偏壓的連續狀態，對工具鍍膜十分有利。

2024-04-29 0

直流磁控濺射電源

SS-II系列磁控濺射電源工作于高頻變換模式，直流輸出,電源電流調整通過改變高頻變換的脈沖寬度來實現。電源具有良好的負載特性，性價比高，適用于金屬及部分反應膜層環境使用。 電源功率范圍 10-120KW 輸入電源 AC380V三相四線制 50-60HZ±10％ 輸出方式 直流 輸出

2024-04-29 0

中頻交流磁控濺射電源

?? SS-T系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出。電源輸出頻率設為典型的40KHZ。中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負載，兩個靶交替工作，因此濺射靶一個濺射周期內一半以上的時間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用于反應膜層環境使用。 電源功率范圍 10-120KW

2024-04-29 0

中頻交流磁控濺射電源

?? SS-T系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出。電源輸出頻率設為典型的40KHZ。中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負載，兩個靶交替工作，因此濺射靶一個濺射周期內一半以上的時間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用于反應膜層環境使用。 電源功率范圍 10-120KW

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大功率中頻磁控濺射電源

? ? SSTH系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出。中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負載，兩個靶交替工作，因此濺射靶一個濺射周期內一半以上的時間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒。SSTH系列中頻交流磁控濺射電源具備獨特的電弧抑制功能，有效克服電弧對膜層造成的瑕疵，預警系統實時顯示電源工作狀態，以便及時排除

2024-04-29 0

弧電源

SALN型弧電源工作于高頻變換模式，直流輸出，電源電流調整通過改變高頻變換的脈沖寬度來實現。電源具有負載補償電路，負載特性良好，由于采用電流傳感器作為電流取樣，有較高的電流穩定率，適用于各類裝飾及工具鍍膜。另外，電源內置長效引弧電阻并設短路指示，直觀顯示電源的工作狀態。電源采用軟開關模式工作，效率高，電磁兼容性好。此外，本系列電源具有很高的性價比。 電源功率 4.8KW

2024-04-29 0

弧電源

SAHN型弧電源工作于高頻變換模式，直流輸出，電源電流調整通過改變高頻變換的脈沖寬度來實現。電源具有負載補償電路，負載特性良好，由于采用電流傳感器作為電流取樣，有較高的電流穩定率，適用于各類裝飾及工具鍍膜。另外，電源內置長效引弧電阻并設短路指導，直觀顯示電源的工作狀態。電流效率高，比硅整流電源節電40%左右。 電源功率 4.8KW 輸入

2024-04-29 0

偏壓電源

BOMB-IIIS系列偏壓電源工作于二級高頻變換模式，單極脈沖方式輸出。電源的電壓調 整通過改變高頻變換電路的電源電壓來實現，調壓電路具有1%的穩定率。高頻變換電路產 生10-90%寬度可調的脈沖電壓。由于電源的輸出電壓與脈沖寬度獨立調整，在滿足工藝所 需電壓同時，通過改變脈沖寬度來控制工件溫升。電源適用于各類工具鍍膜及裝飾鍍膜

2024-04-29 0