【中玻網】液晶玻璃基板品質管控要求嚴格、設備精度要求高，傳統的接觸式測厚裝置已無法滿足當前生產要求。激光測厚裝置的應用有效彌補了接觸式測厚裝置的不足，以玻璃基板厚度為研究對象，對激光測厚系統在液晶玻璃基板中的應用進行分析。

　　激光測厚儀簡介：激光是由激光器產生的一種特殊的平行光束，它具有方向性強、亮度高、顏色純、光脈沖寬度窄等優異物理特性。激光在線測厚儀一般是由兩個激光位移傳感器上下對射的方式組成，上下的兩個傳感器分別測量玻璃基板上表面的位置和下表面的位置，通過計算機計算得到玻璃基板的厚度。激光測厚裝置的控制原理如圖1所示，激光測量原理如圖2所示。

　　圖1激光測厚裝置控制原理圖

　　圖2激光測量原理圖

　　工作原理：激光在線測厚儀有兩種檢驗方式，分別為雙面激光檢驗（2個激光三角測量傳感器）和單面貼輥檢驗（1個激光三角測量傳感器），兩種檢驗方式都是通過測量傳感器到被測材料表面的距離。根據設計要求，一個附加的傳感器，通常是高準確渦輪傳感器，用來測量雙面傳感器之間的距離或者測量單面傳感器到參考物之間的距離。激光在線測厚系統的優點在于采用非接觸的測量，相對接觸式測厚儀更準確，不會因探頭磨損而損失精度。

　　傳統測厚技術的缺點：（1）測量頻次低，目前其測量頻次為每5張測量1次，每次測量用時8～10 s，不能實時反映每張玻璃基板厚度的真實情況，（2）數據失真率大，造成數據采集失真率大，不能完全真實反映玻璃基板厚度品質。（3）消耗費用大，由于采用固定式接觸位置傳感器，導致位置傳感器磨損加快，更換周期縮短等。

　　激光在線測厚技術的優點：（1）在線實時監測，其是采用一個激光探測器組成的監測系統，測量速度快，能完全做到滿足1張1測的需求，保證了液晶基板玻璃厚度品質的實時監測。（2）數據統計分析，該系統計算出每點厚度值及坐標位置，并傳送到顯示模塊中，再根據每一張厚度變化趨勢，系統判定后續玻璃基板厚度變化趨勢，為工藝人員提供厚度調整方向。（3）異常啟動緊急信號，可以人工設置厚度波動范圍的上下限，對超出設定范圍內的異常厚度基板進行啟動緊急信號，工作人員能在第1時間發現異常，縮短異常處理時間，避免異常厚度品質基板漏檢，減少產品浪費，且該系統還能對異常產品進行定位隔離。（4）單點之間測量間隔距離可控調節，激光測厚容量大，數據處理快，單點之間測量間隔距離能實現可控調節，間隔距離能準確至1mm，較大提升測量精度的同時有效避免因測量間距原因造成局部厚度異常導致漏檢發生。

　　激光技術作為高新技術，近十幾年來在液晶玻璃基板行業中的應用實例越來越多。例如：激光校正技術應用在成型爐體安裝中心校正上；激光切割技術應用在玻璃基板在線切割上，替代橫切刀切割，減少玻璃粉塵的產生；紅外熱成像技術應用在高溫爐體內部設備缺點判定，可根據熱成像其溫度場的分布、測量任何部分的溫度值，對各種外部及內部故障進行診斷等等。