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流量計 真空流量計 七星華創流量計 流量顯示儀
基本信息
表1.D07-7B型MFC性能指標
編號 | 項目 | D07-7B型 |
1 | 流量規格 | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10)SLM |
2 | 準確度 | ±1.5%F.S |
3 | 線性 | ±1%F.S |
4 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應時間 | 電特性:10sec氣特性:≤4sec |
6 | 工作壓差范圍 | (0.1~0.5)MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環境溫度 | 5℃~45℃ |
9 | 輸入輸出信號 | 0V~+5.00V (輸入阻抗大于100K,輸出電流不大于3mA) |
10 | 電源 | +15V50mA -15V200mA |
11 | 外形尺寸 | 見圖4 |
12 | 重量 | 1.1kg |
注意
:
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規定為:SCCM(標準毫升/分);
SLM(標準升/分)
標準狀態規定為:溫度---273.15K(0℃);
氣壓—101325Pa(760mmHg)
F.S.(FullScale):滿量程值
上海乾鈦實業有限公司基本信息
主營產品：真空鍍膜設備,玻璃鍍膜設備,玻璃器皿,金屬靶材,油煙過濾器,電磁爐,擴散泵油,真空泵油 公司成立年份：2017
公司網址：http://qiantai11.glass.com.cn
產品屬性：
計量單位：臺 供貨總量：100 最小起訂量：1 產品單價：0.00 品牌： 規格型號： 包裝說明：
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流量計 真空流量計 七星華創流量計 流量顯示儀
產品屬性：
計量單位：臺 供貨總量：100 最小起訂量：1 產品單價：0.00 品牌： 規格型號： 包裝說明：
