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多晶硅靶目前已大量的出口及提供國內大導電玻璃生產廠,每月硅靶的產量約為3噸,主要出口國及地區為美國、日本、臺灣及英國,較大單片硅板能提供到直徑16英吋或400X400mm。常規的規格為P型,摻B,純度為≧99.999%,電阻率為≦0.02Ω?cm, 尺寸精度為±0.1mm. 表面光潔度為Ra≦0.7(也可按客戶的要求供貨),產品經過真空包裝。也可提供管狀硅靶,各種形狀的硅靶都可以提供。 也可為用
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